中国光刻机最新技术专利，中国科技再向前迈进了一大步！

2024-10-31 10:13科技之最

一直以来，光刻机是许多国人非常关注的话题，在中国关于光刻机的消息更是层出不穷，不管是与此相关的清华0.1nm技术也好，还是国内曝光的光刻厂技术也罢，都是咱们普通人无法理解的技术，可是如今好消息来了，中国光刻机不仅取得重大突破，而且此次技术还通俗易懂。

根据国家知识产权局信息显示，国内一家企业申请了一项名为 “光刻机的曝光剂量控制架构” 的专利，公开号 cn118818921a，申请日期为 2024 年 8 月。该专利可实现快门的快速开关，减少信号传输时间，并提升控制的精准度。

所谓的曝光剂量，通俗易懂地来讲，就是可以进一步提升芯片的质量，从而让良品率变得更好，如此一来，芯片的成本也会大大下降。

确实如此，也许您还不知道，在芯片制造过程中，光刻是一个复杂且耗时的环节。曝光剂量的控制效率对整个芯片制造的效率有着重要的影响。如果曝光剂量控制不稳定，需要频繁地调整光刻设备或者重新进行光刻操作，这会增加芯片制造的时间成本。而且，不合适的曝光剂量可能会导致大量芯片出现质量问题，降低芯片的良品率，从而增加生产成本，影响芯片制造的经济效益。

可以说，如今中国关于光刻机技术的重大突破，又让中国科技再向前迈进了一大步，为什么要这么说呢？

众所周知，国内建立光刻厂的消息层出不穷，可是相关的技术资料来源却非官方提供，例如，2023 年 9 月有网络消息提到中国可能在建设具有中国特色的 “光刻工厂”，直到现在我们也没有看到什么进展。同年，浙江省绍兴市越城区融媒体中心官方账号 “越城发布” 于 6 月 24 日公布了上海图双精密装备项目落户绍兴市越城区的消息，该项目总投资约 50 亿元人民币，计划建设国产芯片光刻机工厂，预计 2025 年投产，可是依然是雷声大雨点小。

然而此次突破的核心技术“曝光剂量控制架构”则有所不同，用专家的话来说，这意味着中国拥有自主的曝光剂量控制架构技术，对于中国光刻厂摆脱对国外技术的依赖具有重要意义。可以说在光刻厂的建设和发展过程中，如果能够自主研发并应用先进的曝光剂量控制技术，将有助于提高中国在光刻机领域的技术自主水平，降低被国外技术封锁的风险。

不得不说，实在是无比振奋人心，又看到中国在光刻机领域突破的好消息了。

那么问题来了，前面为什么要说ASML光刻机巨头彻底懵了？

其实这个还是与光刻厂有关。

我们都知道，光刻机又名掩模对准曝光机，是芯片制造流程中光刻工艺的核心设备。它的主要功能是将设计好的集成电路模板复刻到硅晶圆等半导体材料上，从而生产出符合要求的集成电路。不仅如此，光刻机包含了多个国家的先进技术。例如，德国提供蔡司镜头等光学技术设备，日本提供特殊复合材料，瑞典有精密机床技术，美国提供控制软件、光源等。一台先进的 EUV 光刻机内部构造极其复杂，零部件更是超过 10 万个。特别是这些零部件来自全球超过 5000 家供应商，共同构成了光刻机这一科技巨擘，也足以可见其技术难度之大，可以说是科技之最。

说白了，如此复杂的光刻机设备，是通过无数个零部件集成到一台机器里面，同理，中国建立光刻厂的目的，就是将无数零部件组装在工厂，然后通过工厂实现芯片光刻机的功能，如此一来，就是说我们不需要光刻机，只需要成功建立光刻厂，一样能摆脱国外技术封锁和垄断，也能自己打造出属于中国的高端芯片产品。

确实如此，芯片的制造流程极其复杂，光刻工艺确定了芯片的关键尺寸，在整个芯片的制造过程中约占据了整体制造成本的 35%。光刻机的技术水平直接决定了芯片的性能、集成度和功耗等关键指标，是现代半导体产业不可或缺的关键设备。

以前我们总是想着制造与荷兰相同的光刻机，从而实现真正的自主研发，可是正如刚才所说，零部件就已经超过10万个，更别说里面还包含多个国家的先进技术，不管是美国也好，还是日本也罢，甚至连瑞典、德国，都不可能那么大方无条件提供技术给我们，甚至是我们拿钱购买他们的技术，他们也不一定会买给我们。可是现在，我们终于摆脱固有思维，并且以光刻厂的形式，同样可以实现光刻机的功能，这么一来，中国芯片产业实现自主研发，摆脱对美国技术依赖的日子就不远了。

不得不说，以前美国和苏联都不提供原子弹技术给我们，我们靠着自己一步一步摸索实现了两弹一星。如今美国、荷兰，甚至是其它国家，也都不愿意提供相关光刻机技术给我们，然而我们却可以靠着光刻厂来突破重围，特别是如今关于光刻机的曝光剂量控制架构专利技术，更是有望让中国的光刻厂提前制造完成，可以说，一旦中国拥有这样的光刻厂，那么不仅是ASML光刻机巨头彻底懵了，就连美国也只能瞪着眼干看着什么都不能干。

更新于：3个月前