首页 / 娱乐

碳化硅 SiC 8英寸炉已经开始量产

2024-10-07 08:29娱乐

2022年4月,恒普科技推出SiC感应晶体生长炉的新一代技术平台,突破SiC行业晶体长不快、长不厚,长不大的三大缺点,解决行业核心需求。

Source:恒普科技

随着电动汽车的碳化硅车型的陆续密集推出,带动当下SiC器件需求的井喷。在未来一段时间内SiC衬底的供应依然无法满足市场的需求。

而当下国内主流的SiC晶体生长速度在0.1~0.2mm/h,晶体厚度在15~25mm,晶体尺寸从4英寸全面向6英寸切换。国际上主流的SiC晶体生长的速度在0.2~0.3mm/h,晶体的厚度在30~40mm,晶体尺寸由6英寸转向8英寸。

无论是技术追赶,还是市场需求,在晶体质量(缺陷等)保证的前提下,把SiC晶体长快、长厚、长大,都是行业急迫需要解决的核心需求。

在这个背景下,恒普科技推出新一代感应发热技术平台,并以新技术平台为基础,推出了2款感应式SiC晶体生长炉,解决SiC晶体长不快、长不厚、长不大的缺点。

新感应晶体生长平台

部分特点:

全尺寸

同时推出6英寸、8英寸的2款炉型,满足行业晶体尺寸加大的需求。

无籽晶托或超薄籽晶托

自由热膨胀,利于应力的释放,减少由应力产生的缺陷。

料区与籽晶区,更灵活的温度梯度调节。

固定式水平线圈

无需调节线圈的轴向移动,减少工艺变量,提高工艺稳定性。

对籽晶区的温场做到更精细的调整,使温度更均衡。

新热场

装入更多原料,且利用率高。

料区温度分布对长晶影响的敏感度下降。

增加了蒸发面积,可在超低压力下生长。

传质效率提高且稳定,降低再结晶影响(避免二次传质)。

减少边缘缺陷的扩径技术。

生长后期,降低碳包裹物的影响。

先进技术

新炉型标准配置了,温度闭环控制与高精度压力控制等先进技术。

a.温度闭环控制

SiC晶体在2000℃以上的高温下生长,对温度的稳定性要求极高,但由于SiC粉料挥发等原因,无法做到温度控制,而是采用功率控制(或温度控制 功率控制组合),恒普科技的新技术就解决了这个痛点。

b.高精度压力控制

SiC晶体生长炉在晶体生长时,通常压力控制的波动在±3Pa,恒普科技的新技术可以将压力控制在±0.3Pa,提高了一个数量级。

宁波恒普真空科技股份有限公司

宁波恒普是一家以材料研究为基础,以高温热场环境控制为技术核心的金属注射成形(MIM)领域和宽禁带半导体领域的关键设备供应商,主要从事金属注射成形(MIM)脱脂烧结炉、碳化硅晶体生长炉、碳化硅同质外延设备等热工装备的研发、生产和销售。

更新于:1个月前

猜你喜欢

  • 世界最重

    全球面积最大、功率最高的GW量产线钙钛矿组件首片下线

    每经AI快讯,11月5日,据极电光能微信公众号消息,极电光能GW量产线调试实现全工序的整线贯通,2.8平米超大面积钙钛矿组件首片下线,组件功率达到450W,全面积效率16.1%,这是有史以来面积最大、功率最高的钙钛矿组件,标志着全球钙钛矿产业化正式迈入GW级规模化量产阶段。每日经济新闻..

    2024-11-12
  • 小学生开始流行盘手串

    盘手串是把玩手串,通过长时间的把玩使其包浆,让手串的外观看起来更具光泽,更显灵性,据悉现在小学生开始流行盘手串,具体情况是怎样的呢?适合学生盘的手串是什么呢?和小编一起来详细了解一下吧。小学生开始流行盘手串2022年小学生中最火的是《孤勇者》,2023年的小学生则以盘手串开场。据河南电视台民生频道近日报道,..

    2024-11-11
  • 世界最长

    美国专家:中国又开始反人类操作,六省“联手”挖世界最长运河

    前言中国再次以惊人的规模震撼世界,六省联手,8500亿元投资,世界最长的超级运河工程呼之欲出。国内,从中央到地方,各级政府对这一宏伟工程满怀期待,这条贯穿多省的运河将为区域经济发展注入强劲动力,然而,国际舆论场上却出现了截然不同的声音。美国专家断言这是中国又一次反人类操作。那么,这条运河计划的具体内容是..

    2024-10-30
  • 科技之最

    我国科技,已经世界最先进,引发其他国家的嫉妒

    在当今世界,科技的发展已经成为衡量一个国家综合国力的重要指标。我国在科技领域的成就举世瞩目,从航天技术到人工智能,从5G通信到量子计算,无不展现出我国科技的强大实力和无限潜力。然而,这样的进步并非一蹴而就,而是经过长期积累和不懈努力的结果。在这个过程中,我们不仅见证了我国科技的飞速发展,也感受到了来自..

    2024-10-29
  • 世界上最深的海沟排行榜,第一名形成时间已经6000万年

    海沟是自然形成的一种自然景观,虽然我们不能很容易的欣赏到这一美景,但是我们仍然要感叹造物主的神奇,世界上最深的海沟就是马里亚纳海沟,已经存在了6000万年,那么最深海沟排行榜哪些海沟呢,一起来看看吧10、雅浦海沟最大深度:8527米所属大洋: 太平洋南北长 650 公里,最深点 8527 米,在雅浦海沟5000米左右的深海,..

    2024-10-26
  • 历史百科

    蜀汉都已经灭亡了 姜维为什么还想匡扶蜀汉

    今天小编给大家带来姜维和蜀汉的故事,感兴趣的读者可以跟着小编一起看一看。公元263年,已成亡国之君的刘禅忽然收到姜维写来了一封密函,上书:“愿陛下忍耐数日,臣欲使社稷转危为安,日月幽而复明。”刘禅读罢,含泪叹息说:“干戈再起,可怜蜀中百姓难免生灵涂炭了。”明明蜀国已经亡了,为什么姜维还不死心,想着匡复..

    2024-10-24
  • 商业之最

    “闭店潮”还在继续!有多少商业体已经扛不住了?

    10月17日,武汉王府井百货发布公告:决定在本月底,也就是10月31日正式关闭百货商场。这意味着陪伴了武汉人26年的王府井百货也要与我们说再见了。王府井百货的关闭只是实体商业的一个缩影,近两年,武汉正在经历一波实体商业“闭店潮”。01 武汉王府井百货自1998年开业以来,武汉王府井百货已经陪伴江汉路走过了26个年头,..

    2024-10-21
  • 美食百科

    探索历史 遍及日本的国民食品 咖喱 是什么时候开始吃的

    探索历史:遍及日本的国民食品“咖喱”是从什么时候开始在日本吃的?说到咖喱,第一印象就是印度。其实了解日本的人其实知道,日本人最爱吃的居然是“咖喱”。当然和阿三的咖喱不一样,改良了很多。遍地的Coco壹咖喱,各种餐厅的招牌菜,更是家庭最喜欢做的一道菜。咖喱是明治时期在日本流通的食物,但在流通之前,还有很长..

    2024-10-19